「再生ウエハって、何ですか?」 

2015年3月に東証マザーズに上場したRSテクノロジーズの方永義社長が、投資家から投げかけられる質問で最も多いのが、同社のシリコンウエハ再生事業そのものへの問いだ。

半導体製造には、数百を超える工程がある。不良品の発生を防いだり、出来栄えを評価したりするために、各工程で投入されるのがモニタリング用ウエハだ。

モニタウエハは途中で抜き取られるため、表面加工はされるもののカットされずに元の姿の円盤状で残る。数回使うと使えなくなるが、洗浄などの再生加工を施すことによって10回から20回程度、再利用ができるようになる。これがシリコンウエハの「再生」だ。

新品のウエハをモニタリングに使うより、コストダウンを図れるのが最大の特長。半導体メーカーから使用したモニタウエハを預かり、再生加工して返却する仕組みで、加工賃が売り上げになる。再生ウエハはシリコンウエハ全使用量に対して2割強の需要がある、とみられている。

もともとは中堅化学メーカー、ラサ工業の主力事業の一つだった。リーマンショックの影響により撤退するところを、中国・福建省出身の方社長がRSテクノロジーズを設立して買い取った。

国内と台湾に大型投資