火災で設備が焼損したルネサス那珂工場の内部(写真:ルネサス)

自動車向け半導体世界3位のルネサスエレクトロニクス那珂工場(茨城県ひたちなか市)で3月19日未明、火災が発生し、一部の生産ラインが停止した。

ルネサスは21日に緊急会見を開き、柴田英利社長は「関係各所から協力をもらい、全力で復旧に当たる」と話し、1カ月以内の生産再開を目指すと表明した。火災影響のない仕掛かり品もあり、出荷は継続しているが、昨年末から続く車載半導体不足が一層深刻化するおそれがある。

火災があったのは大型の直径300ミリメートルウェハーを加工するラインだ。1階クリーンルーム内のメッキ工程に使う装置付近から出火し、約5時間半後に鎮火した。ケガ人はなかったが、計11台の半導体製造装置が焼損した。警察や消防による現場検証の結果、何らかの理由でメッキ装置への過電流が発生、周辺の樹脂に引火したという。